Hall Measurement System
HMS-3000/3300
홀 효과 측정 시스템은, 반도체 디바이스의 전기적인 특성파악에 필요한, 캐리어 농도(carrier density), 이동도(mobility),
저항율(resistivity), 홀 계수(Hall Coefficient)등을 측정하는데 매우 유용한 장비 입니다.
따라서, 반도체 디바이스의 전기적인 특성을 측정하는데 매우 필수적인 장비 입니다.
HMS 시리즈는 정전류소스(constant current source), 반 데르 포 법칙(Van der Pauw technique)을
이용한 단자전환 장치, 저온(액체질소온도,77K) 측정 시스템, 자속밀도 인가 시스템 등으로 구성이 됩니다.
따라서, 홀 효과 측정에 필요한 모든 시스템(악세서리 포함) 을 완전한 풀셋으로, 합리적인 가격에 제공하고 있습니다. 그리고,
홀효과 측정장치에 대해서 국내외 특허를 취득하였으며, 전세계 대학, 연구소, 기업등 500여대 이상이 설치되었고, 고객들로부터
기술력을 인정받고 있습니다.
1. CHARACTERISTICS
1.반도체 디바이스의 전기적인 특성을 파악하기 위해서 정밀성과 재현성을 확보.
정전류를 6단계로 나눠서 인가(1nA ~20mA) 함으로써 에러허용치를 최소화합니다. 4 point probing 방식의 유효한
반 데르 포 법칙(Van der pauw technique) 을 적용하여 측정의 정밀성을 보장 하였습니다.
2.컴팩트한 데스크탑 디자인, 사용이 편리함.
작고 컴팩트한 자속밀도 인가 시스템과 저온(액체질소온도, 77K) 측정 시스템을 이용하여, 사용이 편리합니다.
다양한 종류의 샘플마운팅 보드를 통해서, 다양한 사이즈와 두께의 샘플시료를 측정할 수 있습니다. 5mm x 5mm ~ 30mm
x 30mm 사이즈, 두께: 5.5mm 맥시멈(maximum).
3.전류 vs 전압 그래프, 전류 VS 저항 그래프.
HMS2000 모델에서는 이 기능을 지원하지 않습니다. HMS3000모델 이상 에서는 모두 이 기능을 지원합니다.
4.다양한 측정 결과 파라미터( characteristic parameter) 제공.
측정이 끝나면 한번에 다양한 측정 결과값이 자동으로 계산 되어서 s/w 프로그램에 다음과 같이 나타납니다. Bulk &
Sheet Carrier Concentration, 이동도(Mobility), 저항률(Resistivity), Conductivity,
홀 계수(Hall Coefficient), Magnetoresistance), Alpha(Vertical/Horizontal
ratio of resistance) and etc.
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PCB Sample Holder
(6mmx6mm, 20mmx20mm) |
Magnetic flux density
input system
0.55T, 1.0T |
Low Temperature
Measurement System
(77K, 300K) |
The SPCB-1 Spring Clip Board does not require the usual sample bonding process invoving the use of small wires.
The Spring Clip Board is for use with the 0.55 Tesla magnet kit (not the 1.0T) and it has spring loaded clips and spring loaded tips to make contact without using bonding wires. (When using the Spring Clip Board, usually the contacts must still be annealed with a conductive material such as indium to insure good probe contact) |
(클릭하시면 카다로그를 볼수 있습니다.) |
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The SPCB-2 Spring Clip Board is for mounting thicker samples that are from 2mm up to 4.5mm in thickness. |
Product Composition
- Constant current source supply system
- Sample measurement case
- Permanent magnet set
- Hall Effect Measurement Program (Windows)
- Funnel for liquid nitrogen
Features
- Low and high resistivity measurement capability, bulk and sheet carrier concentration and mobility, Hall coefficient in semiconductors
- DC measurement modes
- van der Pauw and Hall Bar measurements
- Board system (room temperature or 77K)
Specifications:
- General
- Maximum sample size (Small board) - 6mm x 6mm, (Large Board/Spring Clip Board) - 20mm x 20mm.
- Measurement Temperature: 300K (room temperature), 77K (Liquid Nitrogen)
- Cool-down time: 10sec.
- Measurement Material: All semiconductors including Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type can be measured).
Data input of depth enables comprehensive measurement of the whole material.
- Resistivity Range of HMS-3000: 10 -4 to 10 7 (Ohms-cm)
- Magnet: Permanent magnet (diameter: 30 mm)
- Magnet Flux Density: 0.55 Tesla nominal +/-1% of marked value (Optional 1 Tesla sample kit for 300K testing only)
- Stability: 2% over 1 years
- Uniformity: +/- 1% over 20mm diameter from center
- Pole Gap: 26 mm
- Hall voltage range: 10uV to 2000mV
- Mobility: (cm 2 /Volt-sec) 2 ~ 10 7 (including low temperature)
- Density (cm -3 ): 10 7 ~ 10 21
- Standard field strength 0.55 Tesla, Optional field strengths 0.27T, 0.31T, 0.37T, 1.0 Tesla (300K testing only).
- Size (W × D × H): 320 x 300 x 105 mm (Constant Current Supply System)
- Weight: 7.7kg (without shipping packaging)
- Packed in overseas wooden crate, Weight: 18.5 Kg, Dimensions: 23" x 18" x 19"
- Current source:
- Range: (HMS-3000) 1nA-20mA
- Compliance: 12V
- Voltage measurements:
- Input impedance: 2x107
- Input voltage range: +/-12V
- Sample input: Sample board
- Contact switching: Mechanical Relay
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모델명 : HMS-3000/3300
